[发明专利]用于制造薄膜光伏转换器设备的方法无效
| 申请号： | 201080024776.7 | 申请日： | 2010-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102460698A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | M.库皮希 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康太阳能股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | H01L27/142 | 分类号： | H01L27/142;H01L31/18;H01L31/052 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘春元;王忠忠 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 为了改进薄膜光伏转换器设备的效率，在其制造期间制造中间产品模块，这包括沉积至少一个正掺杂的、至少一个本征的以及至少一个负掺杂的硅基层，所提到的中间产品模块经受退火步骤，在所述退火步骤期间令所述模块在半小时到四小时的时间跨度期间经受100℃到200℃之间的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 薄膜 转换器 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造薄膜光伏转换器设备的方法，其中中间产品模块被制造，其包括沉积至少一个正掺杂的、至少一个本征的以及至少一个负掺杂的硅基层，并且其中所述中间产品模块经受退火步骤，所述退火步骤包括令所述模块在半小时到四小时的时间跨度期间经受100℃到200℃之间的温度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
