[发明专利]具有可互换掩模的脉冲式激光沉积无效
| 申请号： | 201080024534.8 | 申请日： | 2010-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN102459687A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | J·J·布鲁克玛特;J·M·德克斯;J·A·扬森斯 | 申请（专利权）人： | 索尔玛特斯有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 董敏 |
| 地址： | 荷兰恩*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于脉冲式激光沉积的设备，所述设备包括：衬底支架，所述衬底支架上安装有衬底；靶支架，所述靶支架上安装有靶材料并且与所述衬底支架相对；激光设备，所述激光设备用于指引激光束投射至所述靶材料上；以及掩模，所述掩模布置于所述衬底上；其中所述掩模被布置于可移动圆盘中，所述可移动圆盘能够在轴向方向上移动至所述衬底支架并从所述衬底支架移动。本发明还涉及用于操作该设备的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 互换 脉冲 激光 沉积 | ||
【主权项】：
一种用于脉冲式激光沉积的设备，所述设备包括：‑衬底支架，所述衬底支架上安装有衬底；‑靶支架，所述靶支架上安装有靶材料并且与所述衬底支架相对；‑激光设备，所述激光设备用于指引激光束投射至所述靶材料上；以及‑掩模，所述掩模布置于所述衬底上；其特征在于，所述掩模被布置于可移动圆盘中，所述可移动圆盘能够在轴向方向上移动至所述衬底支架并从所述衬底支架移动。
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