[发明专利]具有可互换掩模的脉冲式激光沉积

权利要求书

1.一种用于脉冲式激光沉积的设备，所述设备包括：

-衬底支架，所述衬底支架上安装有衬底；

-靶支架，所述靶支架上安装有靶材料并且与所述衬底支架相对；

-激光设备，所述激光设备用于指引激光束投射至所述靶材料上；以及

-掩模，所述掩模布置于所述衬底上；

其特征在于，

所述掩模被布置于可移动圆盘中，所述可移动圆盘能够在轴向方向上移动至所述衬底支架并从所述衬底支架移动。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：所述可移动圆盘包括数个掩模。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于：所述可移动圆盘包括至少一个用于容纳所述掩模的开口。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于：所述开口包括用于支承所述掩模的凸缘。

5.根据上述任一权利要求所述的设备，其特征在于：包括用于推动至少一个掩模抵靠所述可移动圆盘的弹簧装置。

6.根据上述任一权利要求所述的设备，其特征在于：包括布置于至少一个掩模的顶部上的载重以用于推动所述掩模抵靠所述可移动圆盘。

7.根据上述任一权利要求所述的设备，其特征在于：至少一个掩模包括用于将所述掩模相对于所述可移动圆盘对齐的主对齐装置。

8.根据上述任一权利要求所述的设备，其特征在于：包括用于将所述可移动圆盘与所述衬底支架对齐的次对齐装置。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于：至少两个对齐凹口被布置于衬底支架的相对侧部上以用于与所述可移动圆盘配合对齐。

10.根据上述任一权利要求所述的设备，其特征在于：所述靶支架被布置于包括数个靶支架的可旋转臂上。

11.根据上述任一权利要求所述的设备，其特征在于：包括用于观察至少一个掩模相对于所述衬底的方位的视觉装置。

12.根据权利要求11所述的设备，其特征在于：所述视觉装置包括照相机或显微镜。

13.根据权利要求11或12所述的设备，其特征在于：所述视觉装置能够朝向至少一个掩模移动和远离至少一个掩模移动。

14.根据权利要求11-13中任一权利要求以及权利要求10所述的设备，其特征在于：所述视觉装置被布置于所述可旋转臂上。

15.一种用于操作根据权利要求10所述的设备的方法，所述方法包括以下步骤：

-将第一掩模布置于衬底的上方并且降下可移动圆盘，以使得所述掩模与所述衬底相邻接；

-使用激光束照射靶材料，以使得将靶材料的涂层布置于与所述第一掩模相对应的所述衬底上；

-向上移动所述可移动圆盘并且旋转所述圆盘，以使得第二掩模被布置于所述衬底上方；以及

-重复以上步骤。

16.根据权利要求15所述的方法，其特征在于：可旋转臂被旋转以使得具有第二靶材料的第二靶支架被布置为与所述衬底相对。

17.根据权利要求15或16所述的方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：在降下所述可移动圆盘后将所述衬底支架向上移动。