[发明专利]包括吸气泵和离子泵的组合泵送系统有效
| 申请号： | 201080012078.5 | 申请日： | 2010-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102356236A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | A·博努奇;A·孔特;P·玛尼尼 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | F04B37/02 | 分类号： | F04B37/02;F04B37/14;H01J7/18;H01J41/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 董敏 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种包括吸气泵(120；220)和离子泵(130；230)的组合泵送系统。该吸气泵和该离子泵(120，130；220，230)被串联安装于同一法兰(111，211)上，并且被分别布置于其相对的侧面上以便于使吸气泵和离子泵朝向真空腔室中的气体流量源的传导性最大化，从而改进该系统的真空层级。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 吸气 离子 组合 系统 | ||
【主权项】：
一种组合泵送系统，所述组合泵送系统包括吸气泵(120；220)和离子泵(130；230)，所述吸气泵和离子泵被串联安装并且分别被布置在同一法兰(111；211)的相对侧面上，所述离子泵由管道(136；236)连接至法兰孔(260)，其特征在于，所述法兰适合于将所述组合泵送系统直接安装至真空腔室壁(240)上，并且所述吸气泵在将所述离子泵与所述法兰孔相连接的所述管道的外部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于工程吸气公司，未经工程吸气公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201080012078.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
