[发明专利]包括吸气泵和离子泵的组合泵送系统有效
| 申请号： | 201080012078.5 | 申请日： | 2010-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN102356236A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | A·博努奇;A·孔特;P·玛尼尼 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | F04B37/02 | 分类号： | F04B37/02;F04B37/14;H01J7/18;H01J41/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 董敏 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包括 吸气 离子 组合 系统 | ||
1.一种组合泵送系统，所述组合泵送系统包括吸气泵(120；220)和离子泵(130；230)，所述吸气泵和离子泵被串联安装并且分别被布置在同一法兰(111；211)的相对侧面上，所述离子泵由管道(136；236)连接至法兰孔(260)，其特征在于，所述法兰适合于将所述组合泵送系统直接安装至真空腔室壁(240)上，并且所述吸气泵在将所述离子泵与所述法兰孔相连接的所述管道的外部。
2.如权利要求1所述的系统，其中，所述吸气泵(120；220)用其体积拦截所述法兰孔(260)的轴线。
3.如权利要求1所述的系统，其中，所述吸气泵和离子泵(120，130；220，230)被安装为其轴线彼此平行以及与所述法兰孔(260)的旋转对称轴线平行。
4.如权利要求1所述的系统，其中所述吸气泵和离子泵(120，130；220，230)相对于彼此同轴安装。
5.如权利要求1所述的系统，其中，所述吸气泵(120；220)包括堆叠在一个或更多个支承件(122；222)上且由非可蒸发的吸气材料制成的多个圆盘(121，121′；221)。
6.如权利要求1所述的系统，其中，所述吸气材料圆盘(221)被布置在通过第二管道(270)与所述法兰(211)的孔(260)相联接的金属结构(250)的内部，所述第二管道适合于将所述吸气泵(220)与所述离子泵(230)相连接。
7.如权利要求6所述的系统，其中，所述第二管道(270)在其壁中设置有多个侧面孔隙，所述多个侧面孔隙适合于直接将所述真空腔室与所述离子泵(230)相连接。
8.如权利要求7所述的系统，其中，在所述第二管道(270)中，所述多个侧面孔隙导致大于0.2的空白面积与总体侧向面积之间的比率。
9.如权利要求7所述的系统，其中，在所述第二管道(270)中，所述多个侧面孔隙导致大于0.4的空白面积与总体侧向面积之间的比率。
10.如权利要求6所述的系统，其中，所述第二管道(270)具有笼状结构。
11.如权利要求1所述的系统，其中，所述吸气材料圆盘(221)被布置于金属结构(250)内部，所述金属结构通过侧向开放且适合于支承所述吸气泵(120，220)的构件的金属结构与所述法兰(211)的孔(260)相联接。
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