[发明专利]用于微加工的脉冲时间可程序化超快突发模式激光无效
申请号: | 201080009654.0 | 申请日: | 2010-01-07 |
公开(公告)号: | CN102334249A | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 彭晓原;安德鲁·虎柏 | 申请(专利权)人: | 伊雷克托科学工业股份有限公司 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10;B23K26/36;H01L21/82 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;赵爱军 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供了一种激光处理系统,提供一超快激光脉冲的突发,其具有选择性成形的突发波封。一突发式脉冲激光包含一高重复率超快激光,以发出一脉冲串列,该串列中的每一脉冲均具有一独立控制的振幅。在脉冲群集中每一超快脉冲的个别振幅界定出一″突发波封″。除了独立控制突发波封内每一超快脉冲的振幅之外,此系统同时也可以提供介于每一超快脉冲间的间隔及/或突发波封的整体时间宽度的选择性控制。因此,该系统提供用于特定激光处理应用的突发波封的选择性成形。 | ||
搜索关键词: | 用于 加工 脉冲 时间 程序化 突发 模式 激光 | ||
【主权项】:
一种使用超快激光脉冲的选择性成形突发来处理材料的激光系统,该系统包含:一突发式脉冲激光,配置以发射一由一选择性成形的突发波封所界定的三或多个激光脉冲的突发,其中该突发式脉冲激光更进一步配置以选择性地在该突发波封内调整介于该三或多个激光脉冲间的时间间隔和该突发波封的时间宽度;以及一或多个放大器,配置以放大该三或多个激光脉冲群组以获得该突发波封的一预定形状,其中该突发式脉冲激光包含:一第一激光源,配置以在一第一重复率发射一连串激光脉冲;以及一光学调变器,接收该连串激光脉冲,该光学调变器配置以在振幅上调变该连串激光脉冲,以产生由该选择性成形的突发波封所界定的该三或多个激光脉冲的突发。
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