[发明专利]用于微加工的脉冲时间可程序化超快突发模式激光

权利要求书

1.一种使用超快激光脉冲的选择性成形突发来处理材料的激光系统，该系统包含：

一突发式脉冲激光，配置以发射一由一选择性成形的突发波封所界定的三或多个激光脉冲的突发，其中该突发式脉冲激光更进一步配置以选择性地在该突发波封内调整介于该三或多个激光脉冲间的时间间隔和该突发波封的时间宽度；以及

一或多个放大器，配置以放大该三或多个激光脉冲群组以获得该突发波封的一预定形状，

其中该突发式脉冲激光包含：

一第一激光源，配置以在一第一重复率发射一连串激光脉冲；以及

一光学调变器，接收该连串激光脉冲，该光学调变器配置以在振幅上调变该连串激光脉冲，以产生由该选择性成形的突发波封所界定的该三或多个激光脉冲的突发。

2.如权利要求1所述的激光系统，其特征在于，该第一激光源包含一超快激光源且该第一激光源所发射的该连串激光脉冲中的每一脉冲均包含一范围介于大约300飞秒及大约1纳秒之间的时间脉冲宽度。

3.如权利要求2所述的激光系统，其特征在于，该突发式脉冲激光更进一步配置以选择性地在介于大约1纳秒及大约1微秒的范围内调整该突发波封的时间宽度。

4.如权利要求2所述的激光系统，其特征在于，该选择性成形的突发波封包含一范围介于大约10微微秒及大约1纳秒间的上升时间。

5.如权利要求2所述的激光系统，其特征在于，该第一重复率的范围介于1Hz和大约100kHz之间。

6.如权利要求2所述的激光系统，其特征在于，该第一重复率的范围介于大约100kHz和大约10GHz之间。

7.如权利要求2所述的激光系统，其特征在于，该超快激光源包含一分散式回馈二极管。

8.如权利要求2所述的激光系统，其特征在于，该超快激光源包含一光纤锁模主振荡器，其包含一单模光纤形成一激光谐振器，该激光谐振器在一端终结于一半导体饱和吸收镜而在另一端终结于一波长选择器。

9.如权利要求1所述的激光系统，其特征在于，该突发式脉冲激光更包含一脉冲选择器，配置以提供该突发波封内介于该三或多个激光脉冲间的选择性可调整时间脉冲间隔。

10.如权利要求9所述的激光系统，其特征在于，该脉冲选择器选择自包含一声光式元件和一光电式元件的群组中。

11.如权利要求1所述的激光系统，其特征在于，该光学调变器包含一光电式调变器。

12.如权利要求1所述的激光系统，其特征在于，该光学调变器包含一马赫-任德光干涉仪。

13.如权利要求1所述的激光系统，其特征在于，该突发式脉冲激光更包含一第一脉冲选择器，配置以将该第一激光源所发射的该连串激光脉冲选择性地自该第一脉冲重复率改变至一第二脉冲重复率。

14.如权利要求13所述的激光系统，其特征在于，该突发式脉冲激光更包含：

一第二激光源，配置以在一第三重复率发射一连串激光脉冲；

一第二脉冲选择器，配置以将该第二激光源所发射的该连串激光脉冲选择性地自该第三重复率改变至一第四重复率；

一光束结合器，配置以结合该第一脉冲选择器在该第二脉冲重复率提供的该连串激光脉冲与该第二脉冲选择器在该第四脉冲重复率提供的该连串激光脉冲，以在一结合的第五脉冲重复率提供结合的激光脉冲串列至该光学调变器；以及

一控制器，连接该第一脉冲选择器与该第二脉冲选择器，该控制器配置以使该第一脉冲选择器与该第二脉冲选择器同步，从而选择性地调整该突发波封内介于该三或多个激光脉冲间的时间间隔，其中该控制器选择该第二脉冲重复率和该第四脉冲重复率。

15.如权利要求1所述的激光系统其特征在于，该一或多个放大器包含：

一或多个前置放大器，选择自包含一增益光纤放大器和一固态放大器的群组；以及

一或多个功率放大器，配置以进一步放大该一或多个前置放大器的输出，该一或多个功率放大器选择自包含一增益光纤放大器和一固态放大器的群组。

16.如权利要求1所述的激光系统，其特征在于，更包含一谐振产生器以提供该突发波封内的脉冲的波长转换。