[发明专利]气体供给装置无效
| 申请号： | 201080009025.8 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN102326129A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 林达也 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;B01J4/02;F17C9/02;F17C13/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种结构紧凑的气体供给装置，该气体供给装置可以通过必要且最小限度的加热装置来防止汽化后的气体再液化，并且可以大幅度减小设置面积，气体供给装置(100)包括：容器(1)，储存液体材料(M)；以及质量流量控制器(2)，通过第一阀单元(31)与所述容器(1)的内部连接，并且控制所述液体材料(M)汽化后的气体的流量，在所述容器(1)的外壁内部形成有内部流道(13)，所述内部流道(13)包括产生气体导出管道(Gout)，所述产生气体导出管道(Gout)包括：第一阀流入流道(131)，连接容器(1)的内部和第一流入口(31i)；以及第一阀流出流道(132)，连接第一流出口(13o)和所述质量流量控制器(2)的导入口(H)。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供给 装置 | ||
【主权项】：
一种气体供给装置，包括：容器，储存液体材料，并且所述液体材料在该容器中被加热；以及质量流量控制器，通过第一阀单元与所述容器的内部连接，并且控制所述液体材料汽化后的气体的流量，所述气体供给装置的特征在于，所述第一阀单元包括：第一阀体，直接安装在所述容器的外壁表面上，并且在一个面上形成有第一流入口和第一流出口；以及第一阀，设置在连接所述第一流入口和所述第一流出口的流道上，在所述容器的外壁内部形成有内部流道，所述内部流道包括产生气体导出管道，所述产生气体导出管道包括：第一阀流入流道，连接所述容器的内部和所述第一流入口；以及第一阀流出流道，用于连接所述第一流出口和所述质量流量控制器的导入口。
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