[发明专利]气体供给装置

权利要求书

1.一种气体供给装置，包括：容器，储存液体材料，并且所述液体材料在该容器中被加热；以及质量流量控制器，通过第一阀单元与所述容器的内部连接，并且控制所述液体材料汽化后的气体的流量，

所述气体供给装置的特征在于，

所述第一阀单元包括：第一阀体，直接安装在所述容器的外壁表面上，并且在一个面上形成有第一流入口和第一流出口；以及第一阀，设置在连接所述第一流入口和所述第一流出口的流道上，

在所述容器的外壁内部形成有内部流道，所述内部流道包括产生气体导出管道，所述产生气体导出管道包括：第一阀流入流道，连接所述容器的内部和所述第一流入口；以及第一阀流出流道，用于连接所述第一流出口和所述质量流量控制器的导入口。

2.根据权利要求1所述的气体供给装置，其特征在于，

所述气体供给装置还包括第二阀单元，所述第二阀单元直接安装在所述容器的外壁表面上，

所述内部流道还包括液体材料导入管道，所述液体材料导入管道用于将所述液体材料导入所述容器的内部，

所述第二阀单元包括：第二阀体，形成有第二流入口和第二流出口；以及第二阀，设置在所述第二阀体的内部，分别与所述第二流入口和所述第二流出口连接，

所述液体材料导入管道包括第二阀流出流道，所述第二阀流出流道连接所述第二流出口和所述容器的内部。

3.根据权利要求1所述的气体供给装置，其特征在于，设置有多个所述气体产生管道，所述质量流量控制器与各所述气体产生管道连接。

4.根据权利要求1所述的气体供给装置，其特征在于，所述容器或所述质量流量控制器安装在气体面板上。

5.一种气体供给装置用容器，所述容器在气体供给装置中储存液体材料，并且所述液体材料在该容器中被加热，所述容器的特征在于，

具有第一阀单元，所述第一阀单元包括：第一阀体，直接安装在所述容器的外壁表面上，并且在一个面上形成有第一流入口和第一流出口；以及第一阀，设置在连接所述第一流入口和所述第一流出口的流道上，

在所述容器的外壁内部形成有内部流道，所述内部流道包括产生气体导出管道，所述产生气体导出管道包括：第一阀流入流道，连接所述容器的内部和所述第一流入口；以及第一阀流出流道，用于连接所述第一流出口和质量流量控制器的导入口。