[发明专利]溅镀装置用交流电源无效
| 申请号： | 201080008942.4 | 申请日： | 2010-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102334273A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 柳谷好男 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | H02M7/5387 | 分类号： | H02M7/5387;C23C14/34;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅镀装置用交流电源，能够通过抑制在各个电极的极性反转时产生的过电压来防止诱发电弧放电。在直流电供给源(1)的正负直流输出线(2a、2b)之间，设置由多个开关晶体管(SW1～SW4)构成桥式电路(3)。在从直流电供给源(1)到桥式电路(3)的正负直流输出线(2a、2b)的至少一方上，设置使直流输出具有恒定电流特性的电感器(DCL)，并设置与桥式电路(3)的输入(3a、3b)并联的缓冲电路(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 交流 电源 | ||
【主权项】：
一种溅镀装置用交流电源，包括：直流电供给源；以及连接在该直流电供给源的正负直流输出之间的由多个开关元件构成的桥式电路，通过所述桥式电路的各个开关元件的切换，以预定频率向与等离子接触的一对电极提供双极性脉冲电力，其特征在于：所述溅镀装置用的交流电源包括：电感器，所述电感器的电感值大于等离子的电感值，所述电感器设置在从所述直流电供给源到所述桥式电路的正负直流输出中的至少一方上；以及，缓冲电路，所述缓冲电路与所述桥式电路的输入并联。
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