[发明专利]溅镀装置用交流电源

权利要求书

1.一种溅镀装置用交流电源，包括：直流电供给源；以及连接在该直流电供给源的正负直流输出之间的由多个开关元件构成的桥式电路，通过所述桥式电路的各个开关元件的切换，以预定频率向与等离子接触的一对电极提供双极性脉冲电力，其特征在于：

所述溅镀装置用的交流电源包括：

电感器，所述电感器的电感值大于等离子的电感值，所述电感器设置在从所述直流电供给源到所述桥式电路的正负直流输出中的至少一方上；以及，

缓冲电路，所述缓冲电路与所述桥式电路的输入并联。

2.根据权利要求1所述的溅镀装置用交流电源，其特征在于：

所述缓冲电路设置在所述电感器和所述桥式电路之间，所述缓冲电路包括彼此串联的二极管及电容，以及与所述二极管并联的电阻。

3.根据权利要求1所述的溅镀装置用交流电源，其特征在于：

所述缓冲电路设置在所述电感器和所述桥式电路之间，包括彼此串联的二极管及电容，以及一端连接在所述二极管和所述电容之间，另一端连接在所述直流电供给源和所述电感器之间的电阻。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的溅镀装置用交流电源，其特征在于：

还包括在切换所述桥式电路的各个开关元件时，用于使所述直流电供给源的直流输出短路的开关元件。