[发明专利]光学测量方法及系统无效
| 申请号： | 201080005288.1 | 申请日： | 2010-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN102292629A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 尼古拉斯·亨利·汉纳福德·琼斯;尼古拉斯·约翰·韦斯顿;凯维恩·巴里·乔纳斯;乔纳森·戴尔·谢泼德;邓肯·保尔·汉德;马特乌什·马蒂西亚克 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京金思港知识产权代理有限公司 11349 | 代理人： | 邵毓琴 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种用于检测样品(310)中的缺陷的检测系统，所述检测系统包括照明组件(320，322)和检测组件(350，354)，所述照明组件具有红外光源(322)和照明光学器件(322)，所述照明光学器件用于将光束从所述光源引导到样品上或样品内的斑点(346)；所述检测组件具有检测器(354)和检测光学器件(350)，所述检测器用于检测来自样品上或样品内受照明的斑点的光线，所述检测光学器件用于将来自样品上或样品内受照明的斑点的光线引导到所述检测器(354)。所述系统可以用于测定样品如涡轮叶片上的热障层或牙科元件或其他医学元件中的缺陷。特别是，所述系统可以用于测定陶瓷样品中的缺陷。本发明进一步描述了一种用于检测样品中的缺陷的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于检测样品中的缺陷的检测系统，所述检测系统包括：照明组件，所述照明组件具有红外光源和照明光学器件，所述照明光学器件用于将光束从所述光源引导到样品上或样品内的斑点；和检测组件，所述检测组件具有检测器和检测光学器件，所述检测器用于检测红外光，所述检测光学器件用于将来自样品上或样品内受照明的斑点的光线引导到所述检测器。
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