[发明专利]光学测量方法及系统

权利要求书

1.一种用于检测样品中的缺陷的检测系统，所述检测系统包括：

照明组件，所述照明组件具有红外光源和照明光学器件，所述照明光学器件用于将光束从所述光源引导到样品上或样品内的斑点；和

检测组件，所述检测组件具有检测器和检测光学器件，所述检测器用于检测红外光，所述检测光学器件用于将来自样品上或样品内受照明的斑点的光线引导到所述检测器。

2.如权利要求1所述的检测系统，所述检测系统用于检测陶瓷材料中的缺陷。

3.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，所述检测系统用于检测氧化锆中的缺陷。

4.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，其中，所述红外光源是中等波长红外光源。

5.如权利要求4所述的检测系统，其中，所述红外光源具有3μm至7μm的波长。

6.如权利要求5所述的检测系统，其中，所述红外光源具有3μm至5μm的波长。

7.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，其中，所述红外光源是空间延长的。

8.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，其中，所述红外光源是时间非相干的。

9.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，其中，所述光源是宽带宽光源。

10.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，其中，用于将来自所述样品上或样品内受照明的斑点的光线引导到检测器的所述检测光学器件包括用于产生共焦光束的光圈。

11.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，其中，所述检测组件布置成检测已经透射通过样品的光线。

12.如权利要求1至10中任一项所述的检测系统，其中，所述检测组件布置成检测由样品反射或反向散射的光线。

13.如权利要求12所述的检测系统，其中，所述照明组件具有照明光轴，并且所述检测组件具有检测光轴，并且其中所述照明光轴和所述检测光轴的平分线基本不平行于待检平面的法线。

14.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，其中，所述检测系统安装在铰接头上。

15.如权利要求14所述的检测系统和铰接头，其中，所述铰接头安装在坐标定位机上。

16.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，所述检测系统进一步包括样品保持器，其中，所述样品保持器相对于所述检测组件和所述照明组件是可移动的。

17.如前述权利要求中任一项所述的检测系统，所述检测系统进一步包括用于处理所检测到的光线的处理器。

18.一种用于检测样品中的缺陷的方法，所述方法包括如下步骤：

将来自红外光源的光束引导到样品上或样品内的斑点上；

检测来自所述样品内或样品上受照明的斑点的光线，和

分析来自所述样品的光线以鉴定任意缺陷。

19.如权利要求18所述的方法，其中，将来自红外光源的光束引导到样品上或样品内的斑点上的所述步骤和检测来自所述样品内或样品上受照明的斑点的光线的步骤通过安装在坐标定位装置上的检测系统进行。

20.如权利要求19所述的方法，其中，所述方法进一步包括确定从所述样品上或样品内受照明的斑点检测到的光线的位置与所述坐标定位装置的坐标系之间的关系的校准步骤。

21.如权利要求19至20中任一项所述的方法，所述方法进一步包括使用第一检查系统检查所述样品以获得来自于所述样品的数据的步骤。

22.如权利要求21所述的方法，其中，使用所述第一检查系统检查所述样品以获得来自于所述样品的数据的步骤通过所述第一检查系统进行，所述第一检查系统安装在所述坐标定位装置上。

23.如权利要求21和22中任一项所述的方法，所述方法进一步包括测定从所述样品上或样品内受照明的斑点检测到的光线的所述位置与采用所述第一检查系统从所述样品获得的所述数据之间的关系的校准步骤。