[发明专利]硅污泥的洗涤方法

摘要

本发明提供一种硅污泥的洗涤方法，该方法如下：使硅污泥的硅粉发生臭氧氧化，在除去有机物和形成硅氧化膜后，除去臭氧，通过分散到盐酸中来溶解金属杂质。接着，除去盐酸的上清液，用超纯水淋洗后，用氢氟酸溶解硅氧化膜，除去硅粉的表层中的金属杂质。

主权项

硅污泥的洗涤方法，其中：在容器中投入在硅加工工艺中产生的含有硅粉的硅污泥和臭氧溶解水溶液，通过所述臭氧溶解水溶液中的臭氧使所述硅污泥发生臭氧氧化，由此除去所述硅粉的表面的有机物，同时在所述硅粉的表层形成硅氧化膜，将经臭氧氧化的所述硅污泥中的臭氧分解，以实施臭氧除去，在该臭氧除去后，在所述容器中投入溶解附着于所述硅粉的表面的金属杂质的盐酸，使所述硅污泥分散于所述盐酸中，由此盐酸洗涤所述硅污泥，该盐酸洗涤后，将分散于所述盐酸中的硅污泥在所述容器内静置，沉淀分离为上清液和硅污泥，然后，从所述容器中除去溶解了所述金属杂质的上清液，除去所述上清液后，在所述容器中投入超纯水，由此进行利用超纯水淋洗沉淀的所述硅污泥的超纯水淋洗，在该超纯水淋洗后，在所述容器中投入氢氟酸，由此实施利用所述氢氟酸溶解所述硅粉的硅氧化膜的氢氟酸洗涤，将所述硅氧化膜所包括进的金属杂质排出到所述氢氟酸中。