[发明专利]硅污泥的洗涤方法

权利要求书

1.硅污泥的洗涤方法，其中：

在容器中投入在硅加工工艺中产生的含有硅粉的硅污泥和臭氧溶解水溶液，通过所述臭氧溶解水溶液中的臭氧使所述硅污泥发生臭氧氧化，由此除去所述硅粉的表面的有机物，同时在所述硅粉的表层形成硅氧化膜，

将经臭氧氧化的所述硅污泥中的臭氧分解，以实施臭氧除去，

在该臭氧除去后，在所述容器中投入溶解附着于所述硅粉的表面的金属杂质的盐酸，使所述硅污泥分散于所述盐酸中，由此盐酸洗涤所述硅污泥，

该盐酸洗涤后，将分散于所述盐酸中的硅污泥在所述容器内静置，沉淀分离为上清液和硅污泥，

然后，从所述容器中除去溶解了所述金属杂质的上清液，

除去所述上清液后，在所述容器中投入超纯水，由此进行利用超纯水淋洗沉淀的所述硅污泥的超纯水淋洗，

在该超纯水淋洗后，在所述容器中投入氢氟酸，由此实施利用所述氢氟酸溶解所述硅粉的硅氧化膜的氢氟酸洗涤，将所述硅氧化膜所包括进的金属杂质排出到所述氢氟酸中。

2.根据权利要求1所述的硅污泥的洗涤方法，其中，在所述氢氟酸洗涤后，在所述容器中投入混有氢气的超纯水，进行利用所述混有氢气的超纯水淋洗所述硅污泥的氢气水淋洗，

在该氢气水淋洗后，在所述容器中投入臭氧溶解水溶液，使所述硅污泥再次臭氧氧化，在所述硅粉的表层形成硅氧化膜，

然后，在所述容器中投入过氧化氢水，由此再次将经所述再次臭氧氧化的硅污泥中的臭氧除去，

接着，在所述容器中投入氢氟酸，再次氢氟酸洗涤所述硅粉的硅氧化膜，由此将所述硅氧化膜所包括进的金属杂质排出到所述氢氟酸中。