[发明专利]压电体薄膜及其制造方法、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用了压电发电元件的发电方法有效
| 申请号： | 201080001737.5 | 申请日： | 2010-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN102113145A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 张替贵圣;足立秀明;藤井映志 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;B41J2/045;B41J2/055;B41J2/16;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/34;G01C19/56;G01P9/04;H01L41/113;H01L41/18;H01L41/22;H01L41/24 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供包括不含铅的强介电材料的压电体薄膜，即，表现出与锆钛酸铅(PZT)同等水平的高压电性能的压电体薄膜及其制造方法，本发明的压电体薄膜具备有(001)取向的LaNiO3膜、由有(001)取向，用化学式ABO3(A用(Bi，Na)1-xCx(0≤x＜1)表示，B是Ti或者TiZr，C是Na以外的碱金属)表示的化合物构成的界面层、有(001)取向的(Bi，Na，Ba)TiO3膜，顺序叠层所述LaNiO3膜、所述界面层以及所述(Bi，Na，Ba)TiO3膜。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 及其 制造 方法 喷墨 使用 形成 图像 角速度 传感器 测定 发电 元件 以及 | ||
【主权项】：
一种压电体薄膜、其特征在于，具备有(001)取向的LaNiO3膜；由有(001)取向，用化学式ABO3(A用(Bi，Na)1‑xCx(0≤x＜1)表示，B是Ti或者TiZr，C是Na以外的碱金属)表示的化合物构成的界面层；以及有(001)取向的(Bi，Na，Ba)TiO3膜，顺序叠层了所述LaNiO3膜、所述界面层以及所述(Bi，Na，Ba)TiO3膜。
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