[发明专利]压电体薄膜及其制造方法、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用了压电发电元件的发电方法

权利要求书

1.一种压电体薄膜、其特征在于，

具备

有(001)取向的LaNiO₃膜；

由有(001)取向，用化学式ABO₃(A用(Bi，Na)_1-xC_x(0≤x＜1)表示，B是Ti或者TiZr，C是Na以外的碱金属)表示的化合物构成的界面层；以及

有(001)取向的(Bi，Na，Ba)TiO₃膜，

顺序叠层了所述LaNiO₃膜、所述界面层以及所述(Bi，Na，Ba)TiO₃膜。

2.根据权利要求1所述的压电体薄膜，其特征在于，

x＝0，而且B是Ti。

3.根据权利要求1所述的压电体薄膜，其特征在于，

还具备金属电极膜，

所述LaNiO₃膜形成在所述金属电极膜上。

4.根据权利要求3所述的压电体薄膜，其特征在于，

所述金属电极膜由Pt构成。

5.根据权利要求1所述的压电体薄膜，其特征在于，

还具备基板，

所述LaNiO₃膜形成在所述基板上。

6.根据权利要求5所述的压电体薄膜，其特征在于，

所述基板由Si构成。

7.一种制造压电体薄膜的方法，其特征在于，

包括

通过溅射法，形成有(001)取向的LaNiO₃膜的工序；

在所述LaNiO₃膜上通过溅射法，形成由有(001)取向，用化学式ABO₃(A用(Bi，Na)_1-xC_x(0≤x＜1)表示，B是Ti或者TiZr，C是Na以外的碱金属)表示的化合物构成的界面层的工序；

以及

在所述界面层上，通过溅射法形成有(001)取向的(Bi，Na，Ba)TiO₃膜，得到顺序叠层所述LaNiO₃膜、所述界面层以及所述(Bi，Na，Ba)TiO₃膜的压电体薄膜的工序。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，

x＝0，而且B是Ti。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，

所述LaNiO₃膜形成在金属电极膜上。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，

所述金属电极膜由Pt构成。

11.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，

所述LaNiO₃膜形成在所述基板上。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，

所述基板由Si构成。