[实用新型]一种用于区熔气相掺杂的高频加热线圈有效
| 申请号： | 201020695942.3 | 申请日： | 2010-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN202072793U | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 韩海建;梁书正;陈海滨;闫志瑞;方峰;肖清华;沈晓东 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/24 | 分类号： | C30B13/24 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于区熔气相掺杂的高频加热线圈，它包括：由线圈主体和线圈附属导气管组成。线圈主体可为普通的平板线圈，线圈附属结构是一定数目的铜金属导气管。平板线圈中埋放的铜导气管一端开口于线圈外边缘处，一端开在线圈刃口处。此加热线圈通过添加附属通气管可以提高掺杂气体进入熔区的效率，可以更准确的控制掺杂量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 区熔气相 掺杂 高频 加热 线圈 | ||
【主权项】：
一种用于区熔气相掺杂的高频加热线圈，其特征在于：它包括：线圈主体及在主体上的铜导气管。
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