[实用新型]一种用于区熔气相掺杂的高频加热线圈有效
| 申请号： | 201020695942.3 | 申请日： | 2010-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN202072793U | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 韩海建;梁书正;陈海滨;闫志瑞;方峰;肖清华;沈晓东 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/24 | 分类号： | C30B13/24 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 区熔气相 掺杂 高频 加热 线圈 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于区熔气相掺杂的高频加热线圈，其特征在于：它包括：线圈主体及在主体上的铜导气管。
2.根据权利要求1所述的高频加热线圈，其特征在于：线圈主体为普通的平板线圈。
3.根据权利要求2所述的高频加热线圈，其特征在于：铜导气管开口在线圈刃口处，导气管开口应跟线圈刃口平齐，导气管外端口和掺杂气管连接。
4.根据权利要求3所述的高频加热线圈，其特征在于：所述的铜导气管外端口在线圈外边缘处，内端口在刃口凹槽处或边缘处。
5.根据权利要求1所述的高频加热线圈，其特征在于：所述的铜导气管在平板线圈上均匀分布，相邻两铜导气管之间的圆心角θ和铜导气管的数目n具有以下关系：θ＝360°/n。
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