[实用新型]用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构有效
| 申请号： | 201020691667.8 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201962420U | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王勇飞;刘秀;李兆廷 | 申请（专利权）人： | 河北东旭投资集团有限公司;成都泰轶斯太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/12 | 分类号： | C30B31/12;C30B31/16 |
| 代理公司： | 深圳市智科友专利商标事务所 44241 | 代理人： | 曲家彬 |
| 地址： | 050021 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，使石英炉对晶硅片加热后反应生成的PN结具有良好的一致性，从而提高光电转化效率，采用的方案是，包括卧式石英炉体、与晶硅片配套的推舟式输送机构、在卧式石英炉体中设置的加热装置、温度传感器、以及混合气体入口和排气口，关键是：所述的加热装置是设置在卧式石英炉体内腔上部的一组红外加热管，红外加热管借助卧式石英炉体两端头的第一支撑法兰和第二支撑法兰定位。本实用新型的优点是测温准确，在一片晶硅片上制作的PN结均匀，以及在炉体内所有的晶硅片的PN结均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制作 硅片 pn 红外 加热 石英 结构 | ||
【主权项】：
用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，包括卧式石英炉体(1)、与晶硅片配套的推舟式输送机构(2)、在卧式石英炉体(1)中设置的加热装置、温度传感器(7)、以及混合气体入口和排气口(6)，其特征在于：所述的加热装置是设置在卧式石英炉体(1)内腔上部的一组红外加热管(3)，红外加热管(3)借助卧式石英炉体(1)两端头的第一支撑法兰(4 1)和第二支撑法兰(4 2)定位。
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