[实用新型]用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构有效
| 申请号： | 201020691667.8 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201962420U | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王勇飞;刘秀;李兆廷 | 申请（专利权）人： | 河北东旭投资集团有限公司;成都泰轶斯太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/12 | 分类号： | C30B31/12;C30B31/16 |
| 代理公司： | 深圳市智科友专利商标事务所 44241 | 代理人： | 曲家彬 |
| 地址： | 050021 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 制作 硅片 pn 红外 加热 石英 结构 | ||
1.用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，包括卧式石英炉体(1)、与晶硅片配套的推舟式输送机构(2)、在卧式石英炉体(1)中设置的加热装置、温度传感器(7)、以及混合气体入口和排气口(6)，其特征在于：所述的加热装置是设置在卧式石英炉体(1)内腔上部的一组红外加热管(3)，红外加热管(3)借助卧式石英炉体(1)两端头的第一支撑法兰(4-1)和第二支撑法兰(4-2)定位。
2.根据权利要求1所述的用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，其特征在于：所述的一组红外加热管(3)设置在同一圆周的上半周上。
3.根据权利要求1所述的用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，其特征在于：混合气体入口设置在卧式石英炉体(1)底端的中部，在混合气体入口处增设气体分流器(5)，气体分流器(5)上设置有一个进气口(5-1)和一排等间隔设置的分气口(5-2)。
4.根据权利要求1所述的用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，其特征在于：所述的排气口(6)的数量为2-5个，均匀设置在卧式石英炉体(1)的上端面。
5.根据权利要求1所述的用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，其特征在于：所述的第一支撑法兰(4-1)为环形板结构，包括有一组与红外加热管(3)配套的定位安装孔，推舟式输送机构(2)穿通环形板结构的中心孔。
6.根据权利要求1所述的用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，其特征在于：所述的温度传感器(7)借助第二支撑法兰(4-2)的中心磨砂内孔定位在卧式石英炉体(1)的轴线上。
7.根据权利要求1所述的用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，其特征在于：所述的红外加热管(3)的数量是3-9根。
8.根据权利要求1所述的用于制作晶硅片PN结的红外加热石英炉结构，其特征在于：所述的混合气体包括氮气和三氯氧磷。
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