[实用新型]一体换热式多晶硅氢化炉无效
| 申请号： | 201020688098.1 | 申请日： | 2010-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN201923846U | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 赵新征;康继红;赵悦安 | 申请（专利权）人： | 赵新征 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611130 四川省成都市温*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种一体换热式多晶硅氢化炉，包括反应器和通过反应器的反应后气体加热四氯化硅和氢气混合物的换热器，换热器位于反应器下部并与其固定连接，本实用新型氢化炉与换热器一体设置，并且通过反应后的高温气体预热氢气和四氯化硅，热量得到充分利用，减少加热氢气和四氯化硅所需的能耗，降低生产成本；出反应室的高温气体不需通过冷却水冷却，再配以其它改造结构，可省去冷却水装置，降低装置的复杂程度，同时，采用换热器增加了高温尾气冷却换热面积，可以大幅度提高四氯化硅的处理量。 | ||
| 搜索关键词： | 一体 换热式 多晶 氢化 | ||
【主权项】：
一种一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：包括反应器和通过反应器的反应后气体加热四氯化硅和氢气混合物的换热器，所述换热器位于反应器下部并与其固定连接。
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