[实用新型]一体换热式多晶硅氢化炉

权利要求书

1.一种一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：包括反应器和通过反应器的反应后气体加热四氯化硅和氢气混合物的换热器，所述换热器位于反应器下部并与其固定连接。

2.根据权利要求1所述的一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：所述反应器包括反应器壳体和隔热罩，所述隔热罩内部空间为反应室，隔热罩外表面与反应器壳体内表面之间形成竖向夹层；或者，隔热罩本身形成竖向夹层；所述竖向夹层下部设置反应前混合气体入口，竖向夹层上部开口与反应室连通。

3.根据权利要求2所述的一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：所述换热器为立式列管换热器，所述立式列管换热器的管程向上连通于反应室，向下设置反应后气体出口，所述立式列管换热器的壳程下部设置氢气进口和四氯化硅进口，上部设置被加热的混合原料气出口。

4.根据权利要求3所述的一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：所述立式列管换热器的管程与反应室的连通方式为列管直接连通于反应室。

5.根据权利要求4所述的一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：所述反应室与立式列管换热器上管板之间设置隔热板，隔热板与立式列管换热器的列管相对设置有与反应室连通的反应后气体出气孔。

6.根据权利要求5所述的一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：所述反应室上部设置盖板，盖板上分布有连通于反应室和竖向夹层的进气孔。

7.根据权利要求3至6任一权利要求所述的一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：所述立式列管换热器的列管为耐高温金属管，耐高温金属管至少上部管段的管内设置耐高温保护层。

8.根据权利要求1至6任一权利要求所述的一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：所述反应室的热源为电加热元件，所述电加热元件的电极位于反应室上部固定设置于反应器壳体。

9.根据权利要求8所述的一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：所述反应器壳体设置上封头，所述电加热元件的电极固定设置于上封头，上封头设置用于通入冷氢气的第二氢气进气口。

10.根据权利要求8所述的一体换热式多晶硅氢化炉，其特征在于：所述反应器壳体与换热器壳体以可拆卸的方式固定连接或者通过焊接固定连接。