[实用新型]非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置无效
| 申请号： | 201020658597.6 | 申请日： | 2010-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN201930946U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 汪洋;郭增良;曹丽冉 | 申请（专利权）人： | 天津市津能电池科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 王来佳 |
| 地址： | 300384 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置，包括工作平台、清洁箱体、喷淋器、滚刷、移送轨道及风机，在工作平台上固装清洁箱体，在清洁箱体两侧设置有密封门，在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道，在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备，清洁箱体内顶部还安装有吹风口及排风口，吹风口安装在装载盒入口。本装置采用密闭的腔体设计，能够有效避免粉尘在车间环境中飘散，减少了生产环境被污染，尽可能的降低员工直接接触粉尘的概率，保障了操作人员的身体健康和安全。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶硅 太阳电池 pecvd 系统 装载 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置，其特征在于：包括工作平台、清洁箱体、喷淋器、滚刷、移送轨道及风机，在工作平台上固装清洁箱体，在清洁箱体两侧设置有密封门，在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道，在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备，清洁箱体内顶部还安装有吹风口及排风口，吹风口安装在装载盒入口。
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