[实用新型]非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置

说明书

技术领域

本专利属于光伏发电领域，用于双结非晶硅太阳电池生产线中，尤其是一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置。

背景技术

在玻璃衬底非晶硅太阳电池的生产过程中，PECVD(等离子体增强型化学气相沉积)是最为核心的环节，其中对于基片装载盒的清洁直接影响太阳电池的质量和可靠使用寿命。目前使用的清洁方式主要采用人工清洁，存在着清洁程度受操作人员影响大、对生产环境造成污染以及对操作人员健康有不良影响等问题。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足之处，提供一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置，该装置可有效清洁装载盒且对环境无污染。

本实用新型解决其技术问题是采取以下技术方案实现的：

一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置，其特征在于：包括工作平台、清洁箱体、喷淋器、滚刷、移送轨道及风机，在工作平台上固装清洁箱体，在清洁箱体两侧设置有密封门，在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道，在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备，清洁箱体内顶部还安装有吹风口及排风口，吹风口安装在装载盒入口。

而且，在对应喷淋器位置的清洁箱体内底部固装有一收集水槽，该收集水槽连通固装在工作平台内的水循环装置。

本实用新型的优点和积极效果是：

1、本装置采用密闭的腔体设计，能够有效避免粉尘在车间环境中飘散，减少了生产环境被污染，尽可能的降低员工直接接触粉尘的概率。

2、本装置采用自动装置代替了人工操作的方式，提高了生产效率，保障了操作人员的身体健康和安全。

附图说明

图1为本实用新型的结构简图。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本实用新型作进一步详述，以下实施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本实用新型的保护范围。

一种非晶硅太阳电池PECVD系统基片装载盒的清洁装置，包括工作平台10、清洁箱体7、喷淋器3、滚刷4、移送轨道6及风机15，工作平台固装在支架11上，在支架侧边安装有电控箱12，在工作平台上固装清洁箱体，在清洁箱体两侧设置有密封门9，在对应密封门的清洁箱体内底部固装有移送轨道，在该轨道上运行有装载盒5。在清洁箱体内顶部对应移送轨道依次分别固装有滚刷、喷淋设备，在清洁箱体内顶部还安装有吹风口8及排风口2。其中吹风口固装在装载盒入口，排风口通过管路1连通风机，风机再通过其连接的过滤装置16与大气连通。在对应喷淋器位置的清洁箱体内底部固装有一收集水槽13，该收集水槽连通固装在工作平台内的水循环装置14，该水循环装置也即是包括水泵及一水箱，收集水槽的水进入水箱并再通过水泵送到喷淋器。

本实施例中，排风口连接风机，吹风口连接高压气泵，这种连接方式是现有技术，因此没有给出具体的连接关系。

上述未详细叙述的各部件的连接关系是惯用手段。

本实用新型的工作原理是：

装载盒自清洁箱体的入口端进入清洁箱体内，吹风口采用高压气泵对装载盒进行吹扫，喷淋器对装载盒及清洁箱体内的灰尘进行降尘及清洁，排风口使用风机将经过喷淋和过滤的空气排出清洁箱体外。