[实用新型]真空处理装置

摘要

本实用新型涉及一种真空处理装置，其包含真空腔体、铰链机构和门体；所述铰链机构包含铰链臂、第一转动结构和第二转动结构；所述铰链臂的一端通过所述第一转动结构与所述真空腔体形成可转动连接；所述铰链臂的另一端通过所述第二转动结构与所述门体形成可转动连接；所述第一转动结构的转动阻力小于所述第二转动结构的转动阻力。如此所述门体关闭过程中，门体能与真空腔体保持平行，并能均匀挤压门体与真空腔体之间的密封环，延长该密封环寿命。所述第一转动结构的转动阻力小于第二转动结构的转动阻力；既可以方便门体的开启或关闭，同时能避免门体随意转动造成对门体和人员的碰撞损伤。

主权项

一种真空处理装置，其包含真空腔体(21)、铰链机构和门体(22)，其特征在于，所述铰链机构包含铰链臂(25)、第一转动结构(23)和第二转动结构(24)；所述铰链臂(25)的一端通过所述第一转动结构(23)与所述真空腔体(21)形成可转动连接；所述铰链臂(25)的另一端通过所述第二转动结构(24)与所述门体(22)形成可转动连接；所述第一转动结构(23)的转动阻力小于所述第二转动结构(24)的转动阻力。