[实用新型]合成三氯氢硅的尾气处理装置

摘要

本实用新型涉及一种三氯氢硅生产中的尾气处理装置，由用管道串接的隔膜压缩机、机后水冷冷凝器、机后深冷冷凝器、循环吸收塔和降膜吸收塔组成。隔膜压缩机有尾气进料口，降膜吸收塔有出料口和放空口。工作时，三氯氢硅合成工段和三氯氢硅分馏工段的尾气经隔膜压缩机加压压缩处理后，依次通过水冷冷凝器、深冷冷凝器、循环吸收塔三级吸收系统回收氯硅烷。循环吸收塔吸收后尾气经过两级降膜吸收塔回收尾气中的氯化氢，制成30％的盐酸。经降膜吸收塔吸收后的尾气基本是氢气，其中只有少量的氮气，可直接放空。本实用新型能回收99.5％的氯硅烷和氯化氢。采用本实用新型，既回收了尾气中的大部分氯硅烷和氯化氢进行再利用，又有利于环保。

主权项

合成三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于由用管道串接的隔膜压缩机、机前水冷冷凝器、机后深冷冷凝器、循环吸收塔和降膜吸收塔组成，隔膜压缩机有尾气进料口，降膜吸收塔有出料口和放空口，机后深冷冷凝器的塔体上、下部有上端封头、下端封头，上端封头上有气体进口、气体出口，塔体中设冷凝器，冷凝器上、下部有冷凝水出口、冷凝水进口，下端封头下有液体出口，上端封头和塔体中间设有隔板，冷凝器中的降温管按正三角形分布排列，循环吸收塔的吸收塔下连循环吸收罐，循环吸收罐一侧有循环吸收液出口、循环吸收液进口，一侧连屏蔽泵，屏蔽泵通过管道与冷凝器相连，冷凝器与吸收塔的冷凝器进吸收塔管口相连，连接管道端接有喷头，吸收塔下部有进气口，内有环矩鞍填料层，环矩鞍填料层之间有再分布器，吸收塔顶部的气体上升管、上侧部的液体回流管与除雾器相连，除雾器内有硅油浸渍玻璃棉，顶部有气体出口，再分布器的分布板上有多个再分布孔。