[实用新型]合成三氯氢硅的尾气处理装置

权利要求书

1.合成三氯氢硅的尾气处理装置，其特征在于由用管道串接的隔膜压缩机、机前水冷冷凝器、机后深冷冷凝器、循环吸收塔和降膜吸收塔组成，隔膜压缩机有尾气进料口，降膜吸收塔有出料口和放空口，

机后深冷冷凝器的塔体上、下部有上端封头、下端封头，上端封头上有气体进口、气体出口，塔体中设冷凝器，冷凝器上、下部有冷凝水出口、冷凝水进口，下端封头下有液体出口，上端封头和塔体中间设有隔板，冷凝器中的降温管按正三角形分布排列，

循环吸收塔的吸收塔下连循环吸收罐，循环吸收罐一侧有循环吸收液出口、循环吸收液进口，一侧连屏蔽泵，屏蔽泵通过管道与冷凝器相连，冷凝器与吸收塔的冷凝器进吸收塔管口相连，连接管道端接有喷头，吸收塔下部有进气口，内有环矩鞍填料层，环矩鞍填料层之间有再分布器，吸收塔顶部的气体上升管、上侧部的液体回流管与除雾器相连，除雾器内有硅油浸渍玻璃棉，顶部有气体出口，再分布器的分布板上有多个再分布孔。