[实用新型]一种圆柱型程控电弧蒸发离化沉积装置无效
| 申请号： | 201020648694.7 | 申请日： | 2010-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN201971891U | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒 | 申请（专利权）人： | 北京振涛国际钛金技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种圆柱型程控电弧蒸发离化沉积装置，圆柱型阴极为中空圆管管材构成的电弧管状靶，内置筒状永久磁铁，磁力线平行于阴极纵轴，阴极两端对称接入弧电源的负输出端，在该两端各自的输入电路上，分别接入时间可控的电子开关，程序控制电弧快速通断，从而使运动电弧上、下往复并沿周围旋转，即运动电弧以螺旋形上升或下降，阴极弧斑按螺旋形轨迹烧蚀阴极管状靶表面，蒸发并离化金属靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆柱 程控 电弧 蒸发 沉积 装置 | ||
【主权项】：
一种圆柱型程控电弧蒸发离化沉积装置，圆柱型阴极为中空圆管管材构成的电弧管状靶，内置筒状永久磁铁，该阴极两端对称接入弧电源的负输出端，其特征是在该两端各自的输入电路上，分别接入时间可控的电子开关，使电弧快速接通并程序控制通断，从而使运动电弧上、下往复并沿圆周旋转，即运动电弧以螺旋形上升或下降，阴极弧斑按螺旋形轨迹烧蚀阴极管状靶表面，蒸发并离化金属靶材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京振涛国际钛金技术有限公司，未经北京振涛国际钛金技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201020648694.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：管腔内支架约束器
- 下一篇：配接7/8”泄漏电缆的N型插孔接触件射频连接器
- 同类专利
- 专利分类
