[实用新型]一种圆柱型程控电弧蒸发离化沉积装置

权利要求书

1.一种圆柱型程控电弧蒸发离化沉积装置，圆柱型阴极为中空圆管管材构成的电弧管状靶，内置筒状永久磁铁，该阴极两端对称接入弧电源的负输出端，其特征是在该两端各自的输入电路上，分别接入时间可控的电子开关，使电弧快速接通并程序控制通断，从而使运动电弧上、下往复并沿圆周旋转，即运动电弧以螺旋形上升或下降，阴极弧斑按螺旋形轨迹烧蚀阴极管状靶表面，蒸发并离化金属靶材。

2.根据权利要求1所述的一种圆柱型程控电弧蒸发离化沉积装置，其特征是圆柱型阴极靶管内中空部分安置的管状永久磁铁，使在圆柱靶面附近造成纵向磁场，即磁力线平行于阴极的纵轴，且全覆盖圆柱表面。

3.根据权利要求1所述的一种圆柱型程控电弧蒸发离化沉积装置，其特征是圆柱阴极设置在真空室中心位置，以真空室壁为阳极，电弧电源供阳极、阴极以弧电流。

4.根据权利要求1所述的一种圆柱型程控电弧蒸发离化沉积装置，其特征是控制约束弧斑的磁场，也可采用外绕于圆柱阴极的螺旋形上升电磁线圈产生。