[实用新型]扩散炉多重温度控制装置有效
| 申请号： | 201020634420.2 | 申请日： | 2010-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN201873778U | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈剑锋;吴文 | 申请（专利权）人： | 江苏顺风光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213169 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扩散炉多重温度控制装置，具有温控热电偶和检测热电偶，所述的温控热电偶插入到扩散炉的内部，所述的检测热电偶设置在扩散炉的炉壁外表面。利用温控热偶在扩散炉内外进行温度控制，插入扩散炉内部的温控热偶可直接设定温度，直观的调整工艺；外部连接的检测热偶可测量扩散炉壁的温度，宏观的检验扩散炉的设定温度是否达到，从而减少因扩散温度不稳定均匀而导致硅片返工的情况发生，提高了设备利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 多重 温度 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉多重温度控制装置，其特征在于：具有温控热电偶(1)和检测热电偶(3)，所述的温控热电偶(1)插入到扩散炉的内部，所述的检测热电偶(3)设置在扩散炉的炉壁外表面。
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