[实用新型]扩散炉多重温度控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池生产设备，尤其是一种用于太阳能电池扩散时使用的扩散炉多重温度控制装置。

背景技术

目前制作太阳能电池片的生产工艺主要包括清洗、制绒、扩散、刻蚀、去PSG、镀膜、印刷电极、烧结和分类检测这几道工序，其中扩散工艺的PN结是太阳能电池片转化效率的关键。所谓PN结就是在高温作用下，磷原子扩散进入掺有硼的P型硅片时失去电子，形成带正电荷的区域，同时硅片表面薄层失去空穴，形成了带负电荷的区域，这样在N型区和P型区交界面的两侧形成了带正，负电荷的空间电荷区，也就是PN结。

目前通用的扩散炉只配有外部热电偶，只能监测炉管壁的温度，无法监测炉管中间参与扩散反应的实际温度，而在生产过程中炉管壁的温度低于扩散反应的温度，且在外部监控内部温度，对温度波动的感应产生延迟，造成扩散温度无法及时精确的监测。扩散温度是扩散工艺的重大影响因素，这种不确定扩散时是否达到设定温度的情况，对硅片、设备和工艺环境都会有很大的不良影响。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种制作成本低，易于操作，并且精确监控温度的扩散炉多重温度控制装置

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散炉多重温度控制装置，具有温控热电偶和检测热电偶，所述的温控热电偶直接插入到扩散炉的内部，所述的检测热电偶设置在扩散炉的炉壁外表面。

进一步的说，为了保证扩散炉内温度的稳定性和均匀性，使太阳能电池片在炉内扩散完全，本实用新型所述的温控热电偶上有3个温度设定点，分别对扩散炉内的前、中、后三段区域进行温度设定。

本实用新型的有益效果是，解决了背景技术中存在的缺陷，利用温控热偶在扩散炉内外进行温度控制，插入扩散炉内部的温控热偶可直接设定温度，直观的调整工艺；外部连接的检测热偶可测量扩散炉壁的温度，宏观的检验扩散炉的设定温度是否达到，从而减少因扩散温度不稳定均匀而导致硅片返工的情况发生，从很大程度上保证了扩散工艺的稳定进行，同时也提高了设备利用率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的优选实施例的结构示意图；

图中：1、温控热电偶；2、探测区；3、检测热电偶；4、悬臂桨。

具体实施方式

现在结合附图和优选实施例对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的一种扩散炉多重温度控制装置，具有温控热电偶1和检测热电偶3，所述的温控热电偶1插入到扩散炉的内部，所述的检测热电偶3设置在扩散炉的炉壁外表面。

所述的温控电热偶1在扩散炉内外进行温度控制，通过插入扩散炉内部的电热偶可直接监测到实际稳定，从而设定扩散温度，直观的调整工艺，外部连接的检测热电偶3可测量扩散炉壁的温度，宏观的检验扩散炉的设定温度是否达到，从而减少因扩散温度不稳定均匀而导致硅片返工的情况发生，提高了设备利用率，同时作为一种保护措施，检验炉管外部温度是否符合安全生产的标准。

以上说明书中描述的只是本实用新型的具体实施方式，各种举例说明不对本实用新型的实质内容构成限制，所属技术领域的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形，而不背离实用新型的实质和范围。