[实用新型]一种真空镀膜靶条气体供气分布装置无效
| 申请号： | 201020621991.2 | 申请日： | 2010-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN201924070U | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 苏贵方 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/455 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 526020 广东省肇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜靶条气体供气分布装置，包括两块板材，在其中一块板材上，铣出若干组槽，每组槽由若干级横向和竖向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的竖向槽连通，所述的两块板材的接触面是气体密封面；本实用新型工艺简单，供气更为均匀，能实现分段供气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 气体 供气 分布 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜靶条气体供气分布装置，包括供气管，流量装置和出气装置，所述的供气管通过所述的流量装置与出气装置连接，其特征在于：所述的出气装置包括两块板材，在其中一块板材上，铣出若干组槽，每组槽由若干级横向和竖向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的竖向槽连通，所述的两块板材的接触面是气体密封面。
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