[实用新型]一种真空镀膜靶条气体供气分布装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体供气分布装置，尤其属于真空镀膜生产线中的靶条供气分布装置。

背景技术

目前在真空镀膜生产线中，都会有对靶条进行惰性气体供气的装置，最先是在铜管上间隔均匀地钻孔，这样会导致铜管进口一端气流量大，铜管出口一端气流量小，整条靶线的供气很不均匀；后来人们经过改进是将出气铜管分段分级焊接，然后再通过分段分级焊接后的铜管出气管进行供气，这样虽然对于新设备达到了供气较为均匀，但是，铜管分段焊接工艺复杂，导致成本提高，而且在分段分级的铜管供气经过一段时间后，铜管很容易吸附靶镀膜后杂质在管外壁，由于铜管是分段分级焊接，管外的杂质容易掉落玻璃上，导致膜层易产生针孔，从而导致产品缺陷，本实用新型发明大大提高了产品成品率。

实用新型内容

本实用新型的目的是，为了克服现有技术的缺陷与不足，提供一种结构简单、容易清理、能长时间保持供气均匀的真空镀膜生产线的靶条供气分布装置。

本实用新型的目的可以通过采取以下技术方案达到：

一种真空镀膜靶条气体供气分布装置，包括供气管，流量装置

和出气装置，所述的供气管通过所述的流量装置与出气装置连接，所述的出气装置包括两块板材，在其中一块板材上，铣出若干组槽，每组槽由若干级横向和竖向的槽呈阶梯状排布，横向槽将相邻的竖向槽连通，所述的两块板材的接触面是气体密封面。

作为本实用新型专利的优选实施例，在一块板材上铣出5到7组槽，每组槽是相互独立供气的。

与现有技术相比较，本实用新型具有以下优点：

一、在真空镀膜生产线中，采用本实用新型专利靶条气体供气分布装置，在板材上铣槽，相对于现有的将铜管分段分级焊接，工艺简单易行。

二、在真空镀膜生产线中，采用本实用新型专利靶条气体供气分布装置，在板材上铣槽，取代现有的将铜管分段分级焊接，使得供气装置更为耐用，而且随时能够保持整条供气管路供气均匀。

三、在真空镀膜生产线中，采用本实用新型专利靶条气体供气分布装置，在板材上铣槽，取代现有的将铜管分段分级焊接，铜管很容易吸附靶镀膜后杂质在管外壁，由于铜管是分段分级焊接，管外的杂质容易掉落玻璃上，导致膜层易产生针孔，从而导致产品缺陷，本实用新型发明大大提高了产品成品率。

四、由于在板材上铣槽工艺简单，可以达到每组出气口的间隔距离短，从而使供气更为均匀。

五、由于每组供气槽是相互独立的，因此可以实现分段供气。

附图说明

图1是本实用新型靶条气体供气分布装置整体结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式作详细描述。

如图1所示，本实用新型靶条气体供气分布装置，由两块板材(图中未示)构成出气装置，两块板的接触面是气体密封面，所述的流量计(图中未示)通过供气管8与各组出气槽连接，在一块板材上均匀地铣横向槽2、4、6和竖向槽1、3、5、7，槽1沿靶条方向均匀分布，根据需要确定槽1的间隔距离，横向槽2将相邻两个槽1连通，流过流量计(图中未示)的气体经过供气管8依次流过槽7、6、5、4、3、再到槽2、最后由槽1出气，根据需要确定每组出气装置中横槽和竖槽的数量。

由于该工艺简单易行，可以使出气一级的槽间隔距离少，从而达到供气更为均匀，而且每组槽是相对独立的，这样可以实现分段独立供气。

以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。