[实用新型]晶片腐蚀装置

摘要

一种晶片腐蚀装置，它包括浸液槽，浸液槽内有支架，支架上有一个传动轴，在浸液槽的一侧有一个电机，电机连接输出齿轮，输出齿轮与传动轴上的输入齿轮啮合，其特征在于上述传动轴上分别有左联动齿轮和右联动齿轮，支架上端的凹槽内放置浸洗罐，浸洗罐两端有轴，一端的轴上有传动齿轮，浸洗罐的表面有孔，上述左联动齿轮和右联动齿轮分别与传动齿轮啮合。本实用新型的晶片腐蚀装置，使用时，可以将胶合在一起的晶片放入浸洗罐内，腐蚀液由浸洗罐表面的孔进入罐内，并由电机带动浸洗灌转动，均匀快速腐蚀。因此，本实用新型具有结构简单、效率高的特点，而且分离后的晶片在灌内不散落。

主权项

一种晶片腐蚀装置，它包括浸液槽(1)，浸液槽(1)内有支架(2)，支架(2)上有一个传动轴(7)，在浸液槽(1)的一侧有一个电机(11)，电机(11)连接输出齿轮(10)，输出齿轮(10)与传动轴(7)上的输入齿轮(9)啮合，其特征在于上述传动轴(7)上分别有左联动齿轮(4)和右联动齿轮(8)，支架(2)上端的凹槽内放置浸洗罐(6)，浸洗罐(6)两端有轴(3)，其中一端的轴(3)上有传动齿轮(5)，浸洗罐(6)的表面有孔，上述左联动齿轮(4)和右联动齿轮(8)分别与传动齿轮(5)啮合。