[实用新型]半导体封合装置及其直式封合器模块无效
申请号: | 201020601137.X | 申请日: | 2010-11-10 |
公开(公告)号: | CN201936855U | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 张巍巍 | 申请(专利权)人: | 江阴格朗瑞科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 常亮;李辰 |
地址: | 214421 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种半导体封合装置的直式封合器模块。该直式封合器模块包括上封合块、下封合块和模块主板,还包括步进马达和驱动杆,下封合块与模块主板相对固定;模块主板一表面设置有竖向延伸的凸起轨道;步进马达与模块主板相对固定,且其输出轴的轴线与凸起轨道延伸方向垂直;上封合块与凸起轨道滑动配合,且具有横向槽;驱动杆内端与步进马达的输出轴的外端固定连接,外端伸入横向槽中;驱动杆外端的轴线与输出轴的轴线平行,且偏离输出轴的轴线。步进马达通过驱动杆将驱动力传递给上封合块,驱动上封合块沿凸起轨道运动,上封合块与凸起轨道滑动配合关系能够使该直式封合器模块的工作过程具有良好的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 直式封合器 模块 | ||
【主权项】:
一种半导体封合装置的直式封合器模块,包括上封合块、下封合块和模块主板,其特征在于,还包括步进马达和驱动杆,所述下封合块与模块主板相对固定;所述模块主板一表面设置有竖向延伸的凸起轨道;所述步进马达与模块主板相对固定,且其输出轴的轴线与所述凸起轨道的延伸方向垂直;所述上封合块与所述凸起轨道滑动配合,且具有横向槽;所述驱动杆的内端与所述步进马达的输出轴的外端连接,外端伸入所述横向槽中;所述驱动杆外端的轴线与所述输出轴的轴线平行,且偏离所述输出轴的轴线。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造