[实用新型]一种汲取管有效

专利信息
申请号: 201020565138.3 申请日: 2010-10-16
公开(公告)号: CN201863128U 公开(公告)日: 2011-06-15
发明(设计)人: 李明;朱江宁;张祯;刁春华;太双 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种汲取管,包括接口和管体,所述接口的内部形成腔室,所述接口上的第一端面上具有第一开口,所述接口上与所述第一端面相对的第二端面上具有第二开口;所述接口上垂直于所述第一端面并同所述第一端面相衔接的部分为握持部,所述握持部的外侧四周分布有防滑凹槽;所述接口上垂直于所述第二端面并同所述第二端面相衔接的部分为螺纹部,所述螺纹部同所述握持部相连接,所述螺纹部的外侧四周设置有螺纹;所述第二开口的直径同所述管体的直径相适应,所述管体连接于所述第二开口上。本实用新型的汲取管可有效防止研磨液存储装置内的研磨液产生结晶现象。
搜索关键词: 一种 汲取
【主权项】:
一种汲取管,包括接口和管体,其特征在于,所述接口的内部形成腔室,所述接口上的第一端面上具有第一开口,所述接口上与所述第一端面相对的第二端面上具有第二开口;所述接口上垂直于所述第一端面并同所述第一端面相衔接的部分为握持部,所述握持部的外侧四周分布有防滑凹槽;所述接口上垂直于所述第二端面并同所述第二端面相衔接的部分为螺纹部,所述螺纹部同所述握持部相连接,所述螺纹部的外侧四周设置有螺纹;所述第二开口的直径同所述管体的直径相适应,所述管体连接于所述第二开口上。
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