[实用新型]研磨液配比机台以及研磨液供给系统有效
| 申请号： | 201020565137.9 | 申请日： | 2010-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201856169U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 宋林飞;朱海青 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨液配比机台以及研磨液供给系统，所述研磨液配比机台包括称重计以及设置于称重计上的配比容器，所述配比容器包括：主体、由主体限定的容置空间以及设置于容置空间内的隔板，所述隔板将所述容置空间划分为第一容置空间和第二容置空间，所述主体上开设有第一进液口和第一排液口，所述第一容置空间内存储有预设数量的第一液体，所述第一液体由所述第一进液口流进所述第一容置空间，并经所述第一排液口排出。本实用新型可确保配比过程顺利进行，并确保供给至化学机械研磨机台的研磨液数量符合工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 配比 机台 以及 供给 系统 | ||
【主权项】：
一种研磨液配比机台，包括称重计以及设置于所述称重计上的配比容器，其特征在于，所述配比容器包括：主体、由所述主体限定的容置空间以及设置于所述容置空间内的隔板，所述隔板将所述容置空间划分为第一容置空间和第二容置空间，所述主体上开设有第一进液口和第一排液口，所述第一容置空间内存储有预设数量的第一液体，所述第一液体由所述第一进液口流进所述第一容置空间，并经所述第一排液口排出。
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