[实用新型]传送系统有效
| 申请号： | 201020565105.9 | 申请日： | 2010-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201845751U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 周琦;李秀军;李友溪;袁洪 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种传送系统，所述传送系统包括：承载台，用以承载晶舟；驱动轴，其一端与所述承载台连接，用以驱动所述承载台的上升与下降；马达，通过传动装置与所述驱动轴连接，用以控制所述驱动轴的动作；光轴，通过滑动装置与所述驱动轴滑动连接；所述光轴上设置有制动装置，所述制动装置上设置有传感器，所述传感器与马达控制器连接，所述马达控制器与所述马达连接。本实用新型的传送系统做自动校正时，能解决驱动轴下沉，从而引起的承载台及承载台上的晶舟受损的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 系统 | ||
【主权项】：
一种传送系统，包括：承载台，用以承载晶舟；驱动轴，其一端与所述承载台连接，用以驱动所述承载台的上升与下降；马达，通过传动装置与所述驱动轴连接，用以控制所述驱动轴的动作；光轴，通过滑动装置与所述驱动轴滑动连接；其特征在于，所述光轴上设置有制动装置，所述制动装置上设置有传感器，所述传感器与马达控制器连接，所述马达控制器与所述马达连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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