[实用新型]传送系统有效
| 申请号： | 201020565105.9 | 申请日： | 2010-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201845751U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 周琦;李秀军;李友溪;袁洪 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送 系统 | ||
1.一种传送系统，包括：
承载台，用以承载晶舟；
驱动轴，其一端与所述承载台连接，用以驱动所述承载台的上升与下降；
马达，通过传动装置与所述驱动轴连接，用以控制所述驱动轴的动作；
光轴，通过滑动装置与所述驱动轴滑动连接；
其特征在于，所述光轴上设置有制动装置，所述制动装置上设置有传感器，所述传感器与马达控制器连接，所述马达控制器与所述马达连接。
2.如权利要求1所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置套接在所述光轴上。
3.如权利要求2所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置是厚度为15～25cm，外径为50～70cm，内径与所述光轴直径吻合的圆柱形套管。
4.如权利要求2所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置是厚度为15～25cm，边长为50～70cm，内径与所述光轴直径吻合的长方体形套管。
5.如权利要求1所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置通过支架固定于所述光轴上。
6.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置是由聚酯材料制成的。
7.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置上设置有一个传感器。
8.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置上设置有两个以上传感器。
9.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述制动装置上设置的传感器位于所述驱动轴的正下方。
10.如权利要求1或2或5所述的传送系统，其特征在于，所述马达控制器上还安装有报警装置。
11.如权利要求10所述的传送系统，其特征在于，所述报警装置是LED发光器。
12.如权利要求10所述的传送系统，其特征在于，所述报警装置是发生器。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
