[实用新型]磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置有效
| 申请号： | 201020548333.5 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN201793816U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 何伟 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/04 | 分类号： | C30B33/04 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置。它包括进气管，进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管和下进气管，上进气管和下进气管分别位于炉管的上部和下部，上进气管和下进气管上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气，提高磷扩散后的片内、片间方阻均匀性，达到较好的整管方阻分布。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 上下 气管 多点 装置 | ||
【主权项】：
一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，包括进气管，其特征是：所述的进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管(1)和下进气管(2)，上进气管(1)和下进气管(2)分别位于炉管(3)的上部和下部，上进气管(1)和下进气管(2)上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。
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