[实用新型]磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置。

背景技术

由于POCl₃液体源扩散中，携带磷源的气流直接从炉尾进入炉管，靠近炉口处反应气体的浓度将比炉尾处低，导致整管方阻片间，片内均匀性较差。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：靠近炉口处反应气体的浓度将比炉尾处低，导致整管方阻片间，片内均匀性较差。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，包括进气管，进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管和下进气管，上进气管和下进气管分别位于炉管的上部和下部，上进气管和下进气管上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。

上进气管和下进气管为石英材质。

本实用新型的有益效果是：通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气，提高磷扩散后的片内、片间方阻均匀性，达到较好的整管方阻分布。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明；

图1是炉管内部进气方式侧视图；

图2是炉管内部进气方式截面图；

其中：1.上进气管，2.下进气管，3.炉管，4.尾气管，5.硅片。

具体实施方式

现在结合附图1和2对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1和2所示，一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，包括进气管，进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管1和下进气管2，如图2所示，上进气管1和下进气管2分别位于炉管3的上部和下部，12点和6点方向各一根，上进气管1和下进气管2上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片5表面。上进气管1和下进气管2为石英材质。炉管3内的尾气通过尾气管4排出炉管。

通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气，气流从各出气孔平行吹到硅片表面，从硅片上部和下部同时进入，提高片内、片间均匀性。