[实用新型]真空电子枪镀膜机有效
| 申请号： | 201020539484.4 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN201793721U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 林锡强;陈孝田 | 申请（专利权）人： | 温州市佳能真空电镀设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空电子枪镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中的电子束蒸发装置和工件转架，电子束蒸发装置中设有电子枪和装有镀膜材料的坩埚，镀膜产品装在工件转架上，在真空室中设有荷能粒子装置和铝棒，荷能粒子装置产生的离子对铝棒和工件转架上的镀膜产品进行轰击。其有益的技术效果是：由于在真空室中设有荷能粒子装置和铝棒，荷能粒子装置产生的离子对铝棒进行轰击，对镀膜产品表面进行电离子清洗，可提高膜层的结合力；同时荷能粒子装置产生的离子对工件转架上的镀膜产品进行轰击，从而引起镀膜产品表面原子从母体中逸出的现象，使膜层结合的更加牢固。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 电子枪 镀膜 | ||
【主权项】：
真空电子枪镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中的电子束蒸发装置和工件转架，电子束蒸发装置中设有电子枪和装有镀膜材料的坩埚，镀膜产品装在工件转架上，其特征在于：在真空室中设有荷能粒子装置和铝棒，荷能粒子装置产生的离子对铝棒和工件转架上的镀膜产品进行轰击。
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