[实用新型]真空电子枪镀膜机有效
| 申请号： | 201020539484.4 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN201793721U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 林锡强;陈孝田 | 申请（专利权）人： | 温州市佳能真空电镀设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 电子枪 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.真空电子枪镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中的电子束蒸发装置和工件转架，电子束蒸发装置中设有电子枪和装有镀膜材料的坩埚，镀膜产品装在工件转架上，其特征在于：在真空室中设有荷能粒子装置和铝棒，荷能粒子装置产生的离子对铝棒和工件转架上的镀膜产品进行轰击。
2.根据权利要求1所述的真空电子枪镀膜机，其特征在于：所述的真空抽气系统包括低真空抽气装置和高真空抽气装置。
3.根据权利要求1或2所述的真空电子枪镀膜机，其特征在于：所述的低真空抽气装置包括罗茨真空泵和机械真空泵，高真空抽气装置包括维持真空泵和扩散真空泵。
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