[实用新型]新风过滤器有效
| 申请号： | 201020516884.3 | 申请日： | 2010-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN201840951U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 崔津生 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/18 | 分类号： | B01D46/18;B01D46/42 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种过滤器。这种新风过滤器，包括机架和用于过滤新风的过滤棉、主动轴和被动轴，所述主动轴和被动轴分别枢接于所述机架的两侧，所述过滤棉的一端绕置在被动轴上，另一端绕置在用于回收过滤棉的主动轴上，所述机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置。本实用新型新风过滤器，结构简单、使用方便，通过在现有的新风过滤器的机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置，可以在一定程度上清洁过滤棉，延长过滤棉的使用寿命。另外，通过将真空抽吸装置设置成自动的真空抽吸装置，不但可以减小操作人员的工作量，提高工作效率，而且可以降低新风风量波动，从而降低新风风量波动对FAB温湿度的影响，保证生产工艺顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 新风 过滤器 | ||
【主权项】：
一种新风过滤器，包括机架、用于过滤新风的过滤棉、主动轴和被动轴，所述主动轴和被动轴分别枢接于所述机架的两侧，所述过滤棉的一端绕置在被动轴上，另一端绕置在主动轴上，其特征在于，所述机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置。
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