[实用新型]新风过滤器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种过滤器。

背景技术

目前，在半导体芯片厂(FAB)的空调系统通常采用新风初效过滤器。现有的新风初效过滤器，请参见图1，包括机架1和用于过滤新风的过滤棉2、主动轴3和被动轴4，所述主动轴2和被动轴4分别枢接于所述机架1的两侧，所述过滤棉2的一端绕置在被动轴4上，另一端绕置在用于回收过滤棉的主动轴3上。

当过滤棉2使用一段时间后，过滤棉2脏了以后，就需要人工手动转动主动轴3，从而将脏的过滤棉部分回收卷在主动轴上，使得干净的过滤棉部分进入过滤状态。当过滤棉的所有部分脏了以后，该过滤棉就失效并需要更换新的过滤棉。如此，会造成材料及人力浪费。

另外，由于现有的新风初效过滤器的运行特点是一定周期(即从过滤棉开始使用至过滤棉脏度到不能达到要求时)才更新，由于过滤棉先后清洁度的变化幅度很大，因而会造成新风风量周期大幅波动，进而影响FAB温湿度的大幅波动，从而影响生产工艺，导致产品良率下降。

因此，如何提供一种减小过滤棉浪费的新风过滤器是本领域亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新风过滤器，可以减少过滤棉的使用量，从而减少耗材消耗并有利于环境保护。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种新风过滤器，包括机架、用于过滤新风的过滤棉、主动轴和被动轴，所述主动轴和被动轴分别枢接于所述机架的两侧，所述过滤棉的一端绕置在被动轴上，另一端绕置在主动轴上，所述机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置。

在上述的新风过滤器中，所述真空抽吸装置包括驱动部件、真空吸槽和导轨，所述真空吸槽外接真空源，所述导轨固设于机架上，所述驱动部件驱动真空吸槽沿所述导轨移动。

在上述的新风过滤器中，所述导轨包括两根，两根导轨的上、下端分别通过上限位支架和下限位支架固定于所述机架。

在上述的新风过滤器中，所述真空吸槽上设有抽吸口，所述抽吸口设于所述真空吸槽靠近过滤棉的那侧，所述抽吸口的周缘设有用于密封的软性橡胶。

在上述的新风过滤器中，所述软性橡胶的宽度在0.5-2mm之间。

在上述的新风过滤器中，所述真空吸槽的长度大于所述过滤棉的宽度。

在上述的新风过滤器中，所述驱动部件包括手柄和齿轮，所述齿轮通过手柄带动，所述导轨是齿条，所述齿轮和所述齿条啮合，所述齿轮与真空吸槽固定连接。

在上述的新风过滤器中，所述驱动部件包括第一电机和齿轮，所述齿轮由第一电机带动，所述导轨是齿条，所述齿轮和所述齿条啮合，所述齿轮与真空吸槽固定连接。

在上述的新风过滤器中，所述真空抽吸装置还包括用于控制主动轴运动的总控制器、用于控制第一电机的第一控制器、用于监测过滤棉脏度的压差传感器和用于限制真空吸槽移动位置的位置传感器，所述总控制器设于机架上，所述第一控制器、压差传感器和位置传感器分别与所述总控制器连接。

在上述的新风过滤器中，所述机架上还设有报警装置，所述报警装置和所述总控制器电连接。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型新风过滤器，结构简单、使用方便，通过在现有的新风过滤器的机架上设有用于清洁过滤棉的真空抽吸装置，可以在一定程度上清洁过滤棉，延长过滤棉的使用寿命。另外，通过将真空抽吸装置设置成自动的真空抽吸装置，不但可以减小操作人员的工作量，提高工作效率，而且可以降低新风风量波动，从而降低新风风量波动对FAB温湿度的影响，保证生产工艺顺利进行。

附图说明

本实用新型的新风过滤器由以下的实施例及附图给出。

图1是现有的新风过滤器的结构示意图；

图2是实施例1的新风过滤器的结构示意图；

图3是实施例2的新风过滤器的底板的结构示意图；

图中，1-机架、2-过滤棉、3-主动轴、4-被动轴、51-手柄、51’-第一电机、52-真空吸槽、521-真空接口、53-齿条(或导轨)、54-第一控制器、55-压差传感器、56-位置传感器、61-上限位支架、62-下限位支架。

具体实施方式

以下将对本实用新型的新风过滤器作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。