[实用新型]卷绕式真空镀金属的蒸发装置无效

专利信息
申请号: 201020505751.6 申请日: 2010-08-26
公开(公告)号: CN201770766U 公开(公告)日: 2011-03-23
发明(设计)人: 郭继光;李正平 申请(专利权)人: 郭继光;李正平
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26;C23C14/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100035 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种卷绕式真空镀金属的蒸发装置,其特征在于:所述蒸发装置包括一个长条状钨或钼加热器,其上等距离设置多个空穴,所述钨或钼加热器一端设有拉簧,另一端设有固定绝缘板。所述蒸发装置包括耐高温坩埚,坩埚置于钨或钼加热器上的空穴中。所述钨或钼加热器置于保温支架中。所述的保温支架为长条凹槽状,凹槽内用红外线反射率高的金属板制作。本实用新型仅设置一个加热器,并通过保温支架的设置,提高了热效率,使得温度场均匀稳定,蒸发材料均匀受热蒸发;拉簧释放钼加热器的热膨胀,对其有较好的保护作用,延长了使用寿命,本实用新型结构简单,造价便宜,使用可靠。
搜索关键词: 卷绕 真空 镀金 蒸发 装置
【主权项】:
一种卷绕式真空镀金属的蒸发装置,其特征在于:所述蒸发装置包括一个长条状钨或钼加热器,其上等距离设置多个空穴,所述钨或钼加热器一端设有拉簧,另一端设有固定绝缘板。
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