[实用新型]卷绕式真空镀金属的蒸发装置无效
申请号: | 201020505751.6 | 申请日: | 2010-08-26 |
公开(公告)号: | CN201770766U | 公开(公告)日: | 2011-03-23 |
发明(设计)人: | 郭继光;李正平 | 申请(专利权)人: | 郭继光;李正平 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/14 |
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地址: | 100035 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 卷绕 真空 镀金 蒸发 装置 | ||
技术领域
本实用新型是涉及一种卷绕式真空镀金属的蒸发装置。
背景技术
目前国内外在柔性基材上镀制宽幅金属膜采用的卷绕真空镀膜机,其加热装置由多个独立的加热器构成,因此各加热器的连接较复杂,同时还存在加热器的寿命较短,蒸发材料受热不均等问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种卷绕式真空镀金属的蒸发装置,解决了上述存在的问题。
本实用新型所要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的:
一种卷绕式真空镀金属的蒸发装置,其特征在于:所述蒸发装置包括一个长条状钨或钼加热器,其上等距离设置多个空穴,所述钨或钼加热器一端设有拉簧,另一端设有固定绝缘板。
所述蒸发装置包括耐高温坩埚,坩埚置于钨或钼加热器上的空穴中。
所述钨或钼加热器置于保温支架中。
所述的保温支架为长条凹槽状,凹槽内用红外线反射率高的金属板制作。
所述钨或钼加热器两端设有电极连线。
所述电极连线通过螺栓与钼加热器固定连接。
所述钨或钼加热器一端的固定绝缘板与真空腔体固定。
本实用新型具有如下优点:
本实用新型仅设置一个加热器,并通过保温支架的设置,提高了热效率,使得温度场均匀稳定,蒸发材料均匀受热蒸发;拉簧释放钼加热器的热膨胀,对其有较好的保护作用,延长了使用寿命,本实用新型结构简单,造价便宜,使用可靠。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图
如图所示,1-钨或钼加热器,2-空穴,3-拉簧,4-固定绝缘板,5-金属板,6-电极连线,7-螺栓,8-保温支架。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型作进一步说明。
一种卷绕式真空镀金属的蒸发装置,其特征在于:所述蒸发装置包括一个长条状钨或钼加热器1,其上等距离设置多个空穴2,所述钨或钼加热器1一端设有拉簧3,另一端设有固定绝缘板4。
所述蒸发装置包括耐高温坩埚,坩埚置于钼加热器上的空穴中。
所述钨或钼加热器置于保温支架8中。
所述的保温支架为长条凹槽状,凹槽内用红外线反射率高的金属板5制作。
所述钨或钼加热器1两端设有电极连线6。
所述电极连线6通过螺栓7与钨或钼加热器1固定连接。
所述钨或钼加热器1一端的固定绝缘板4与真空腔体固定。
当钨或钼加热器1通以适当的电流,坩埚内的金属溶化继而蒸发,淀积在柔性基材上。保温支架8内的金属板5红外线反射作用既可以减少加热器的热损失,又能使温度场均匀稳定。钨或钼加热器1的一端连接拉簧3,以释放因钨或钼加热器1加热而产生的热膨胀。
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