[实用新型]一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器有效
| 申请号： | 201020298966.5 | 申请日： | 2010-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN201788171U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张可珺;陈鸣;唱凯;贾双荣;李发科 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军第三军医大学第三附属医院 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400042 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器，包括压电基片，所述压电基片上设有输入叉指换能器和输出叉指换能器，所述压电基片上输入叉指换能器和输出叉指换能器之间构成声表面波传播通道，在声表面波传播通道上覆盖有气体敏感薄膜，所述气体敏感薄膜由从压电基片表面往外依次覆盖的金属氧化物薄膜层和聚合物薄膜层构成；本实用新型在不明显增加工艺难度的情况下，显著的增强了传感器在常温下的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多重 薄膜 结构 表面波 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器，包括压电基片(1)，所述压电基片(1)上设有输入叉指换能器(2)和输出叉指换能器(3)，所述压电基片(1)上输入叉指换能器(2)和输出叉指换能器(3)之间构成声表面波传播通道(4)，在声表面波传播通道(4)上覆盖有气体敏感薄膜(5)，其特征在于：所述气体敏感薄膜(5)由从压电基片(1)表面往外依次覆盖的金属氧化物薄膜(5a)层和聚合物薄膜(5b)层构成。
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