[实用新型]一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器有效
| 申请号： | 201020298966.5 | 申请日： | 2010-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN201788171U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张可珺;陈鸣;唱凯;贾双荣;李发科 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军第三军医大学第三附属医院 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400042 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多重 薄膜 结构 表面波 气体 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器，包括压电基片(1)，所述压电基片(1)上设有输入叉指换能器(2)和输出叉指换能器(3)，所述压电基片(1)上输入叉指换能器(2)和输出叉指换能器(3)之间构成声表面波传播通道(4)，在声表面波传播通道(4)上覆盖有气体敏感薄膜(5)，其特征在于：所述气体敏感薄膜(5)由从压电基片(1)表面往外依次覆盖的金属氧化物薄膜(5a)层和聚合物薄膜(5b)层构成。
2.根据权利要求1所述的多重薄膜结构的声表面波气体传感器，其特征在于：所述金属氧化物薄膜(5a) 层的厚度为50~100nm，所述聚合物薄膜(5b) 层的厚度为20~40nm。
3. 根据权利要求1或2所述的多重薄膜结构的声表面波气体传感器，其特征在于：所述输入叉指换能器(2)和输出叉指换能器(3)一一对应且至少为两对，其中一对之间的声表面波传播通道(4)上未覆盖薄膜。
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